CHALLENGE webinar - Compliant and disposable substrate for 3C-SiC heteroepitaxy by deep pillar patterning - Prof. Miglio (UNIMIB) - Lunedì 24 Maggio 2021 ore 15:00

Carissimi,

dopo i primi due webinar organizzati dal progetto CHALLENGE che hanno avuto un notevole successo, il prossimo lunedì 24 Maggio alle 15:00 organizziamo un altro webinar sui risultati del progetto dal titolo "Compliant and disposable substrate for 3C-SiC heteroepitaxy by deep pillar patterning". Il relatore sarà il Prof. Miglio dell'Università di Milano Bicocca.

Un breve abstract del webinar è riportato qui.

In the first part of the presentation it will be outlined how to pattern arrays of T-shaped micrometric pillars in Si (111) wafers, suitable for heteroepitaxial deposition. The merging of the 3C-SiC microcrystals, as deposited on-top, into one continuous monolitic layer will be addressed, discussing also the interaction of extensive defects with microcrystal domains. The significant lowering of thermal stress by the pillar tilting is then outlined. Finally, for sufficiently thick 3C-SiC film deposition, the spontaneous lift-off of the film by the targeted braking of the pillars, in turn induced by the overcritical thermal stress, will be reported.

Per partecipare al webinar è necessario iscriversi al seguente link:

https://www.eventbrite.com/e/compliant-and-disposable-substrate-for-3c-sic-heteroepitaxy-tickets-155627755807 

 

Spero di vedervi numerosi al webinar.

A presto,

Francesco

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Francesco La Via 

Research Director
SiC Epitaxial Growth 

Coordinator CHALLENGE Project
H2020 - NMBP-02-2016
web page: http://www.h2020challenge.eu

Coordinator SiC nano for picoGeo
FET-OPEN
web page: http://picogeo.eu/


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